ＣＫＤはこのほど、大流量・高速応答で大気開放の高速化を可能にした直動式３ポート弁「３ＱＲＡ１・３ＱＲＢ１シリーズ」＝写真＝を発売した。
新製品は重さ19グラムで従来品比約３分の１、体積がＷ10×Ｈ20×Ｄ46ミリで従来品比２分の１以下と小型・省スペースを実現、装置の小型軽量化に貢献する。流量は有効断面積２・０平方ミリ（Ｃ値０・４）と大きく、応答性は４プラスマイナス１ミリ秒（ＯＮ）、１・５プラスマイナス１ミリ秒（ＯＦＦ）で真空到達・破壊を高速化できる。寿命も１億回以上と長寿命である。ＲｏＳＨ、低オゾン、２次電池製造工程に標準で準拠。電子部品の吸着搬送、エアブローのＯＮ／ＯＦＦ制御などに最適。
主な仕様は次の通り。
▽使用流体＝圧縮空気、低真空▽最高使用圧力＝０・７０ＭＰａ▽最低使用圧力＝１・０５ＭＰａ（低真空：１０１ＫＰａ）▽周囲温度＝マイナス５～50℃。
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