小野測器　毎秒5メートルの最大検出速度　レーザ測長計システム発売

小野測器は、最大検出速度毎秒５メートル、分解能０・１５５ナノメートルの性能を持つレーザ測長計システム＝写真＝を１日から発売した。高速リニアステージの性能評価に最適である。本体販売価格は１ｃｈセット２６０万円、２ｃｈセット４７０万円。初年度１００セットの販売を計画している。

リニアステージ装置は、インクジェットプリンタやスキャナーヘッドの移動機構、ＮＣ制御の機械加工装置、搬送装置、基板や半導体露光装置など幅広い分野で使用されている。近年は装置の位置決めの高精度、高速化が進んでおり、性能を計測するレーザ測長計もその対応が求められている。

新発売のレーザ測長計システムはＬＶ―９００２レーザ測長センサー、ＬＶ―０３００Ａレーザ測長計、ＬＶ―０１２０Ａデジタル変位計ユニットで構成。Ｈｅ―Ｎｅレーザ光を使い最大５ｍ／ｓの直線変位を１ＭHzでのサンプリングと０・１５５ｎｍ分解能で測定できる高精度・高速応答の非接触システム。

干渉計内蔵のシンプルな構造で、設置が簡単かつ短時間で可能である。オプションのＬＶ―０９３０変位解析ソフトにより、ＵＳＢ出力から計測データを読み込める。移動軌跡や停止時に発生するオーバーシュートなどの動特性解析、変位に重畳した成文のＦＦＴ解析、デジタルフィルター処理、輸出時に必要なＩＳＯ２３０―２に準拠した位置決め精度が可能である。