日本半導体製造装置協会が発表した2010年の世界半導体製造装置販売額は、前年比148%増の395億4000万ドルとなり、09年の大幅な落ち込みからV字回復となった。
地域別では、台湾が157%増の111億9000万ドルと全体の28%を占め、2年連続でトップとなった。2番に220%増の大きな成長を遂げた韓国が83億3000万ドルとなり北米抜いた。日本は99%増の44億4000万ドルに次いで4番目で、中国も欧州を上回る。日本を除くアジア(その他地域含む)市場のシェアが全体の約70%を占めて過去最高となる一方、北米、日本、欧州のシェアは過去最低となっている。