星和電機(増山晃章社長)は、LEDチップ、フォトダイオード、レーザーダイオード、シリコンデバイスなどのチップ数を計測する「チップカウンターシステム」のCCS1000(スキャナータイプ)と、CCS2000(カメラタイプ)の改良版を、それぞれ「CCS1100」、「CCS2100」=写真=として発売した。オープン価格。販売目標は初年度2機種で100台。
同システムは、ウエハーチップをセットし、取り込まれた画像と、あらかじめ登録されたチップ画像とをパターンマッチング(相関係数)により比較認識し、チップ数を計測するシステム。オプションのバーコードリーダーを使用することで、異なった品種でも自動的に設定ファイルを読み出し、計測することもでき
る。
エキスパンドされたウエハーチップの数を独自アルゴリズムで高速かつ高精度に計測。画像取り込み方法は、スキャナータイプとカメラタイプの2種類を用意。パソコンを使用したコンパクト設計で、リーズナブルなシステムを実現した。
最大で6インチウエハーまで計測が可能。バッドマーク(NGチップ)があっても、正確に良品チップをカウントし、グリップリングタイプ、シートタイプでも計測が可能。ウエハーの画像回転補正機能により、ワークのセッティングが容易。日本語表示と英語表示の切り替え可能。
CCS1100(スキャナータイプ)は、市販のスキャナーを利用し、大幅なコストダウンを実現。60カ月リースなら月額リース料2万3200円(税別)から。
CCS2100(カメラタイプ)は、計測範囲が6インチワークまで対応可能。高解像度レンズを使用し、カメラは900万画素から1000万画素にアップした。また、冷陰極管照明をLED照明に変更し、構造の見直しによりコストダウンを実現した。