パナソニックは、超高性能ACサーボモータ「MINAS―A5シリーズ」出力50W~15kW(100/200/400V)、超高速ネットワーク「RTEX」対応「同―A5Nシリーズ」を好評発売中である。
A5シリーズは、応答周波数2kHz、4つまでの機械共振を抑制するノッチフィルタ、停止時の揺れを低減する制振フィルタ機能を持つ。IP67に対応し耐環境性をアップ。20ビット分解能エンコーダを搭載し低コギングを実現したモータが、装置の高タクト・低振動・小型化に貢献する。
欧州安全規格EN954―Safety
Stop―0準拠。オートチューニング時における自動発振抑制機能、試運転動作機能を搭載し簡単に扱うことができる。
A5Nシリーズは、速度応答周波数2・3kHz、通信速度100Mbps全2重超高速ネットワークRTEXに対応。省配線化、指令の高分解能化を図り、リアルタイム性や自由度が向上。高精度ラッチ機能を備え、最大32軸に対応。軸数が多い半導体製造装置にも対応する。
(http://industrial.panasonic.com/jp/i/fa_motor.html)