MEMS絶対圧センサオムロン、1月発売高精度・低消費電流で検知

オムロンはこのほど、独自のＭＥＭＳ技術を用い、50センチの高低差での気圧変化を、世界トップクラスの高精度・低消費電流で正確に検知する「ＭＥＭＳ絶対圧センサ」を開発、２０１３年１月から販売を開始する。

絶対圧センサは、真空状態をゼロに基準し、圧力を検知するセンサ。同社が開発した絶対圧センサは、血圧計用圧力センサで培ったピエゾ抵抗方式を採用。

ＣＭＯＳ回路とＭＥＭＳセンサ部を一体化することで、縦・横３・８ミリ角、厚み０・92ミリの小型化を実現。小型パッケージへの実装を可能にした。

検出範囲は、３００～１１００ｈＰａと幅広く、相対圧力精度は、約50センチの高低差の気圧変化に相当する６ｐａの相対圧力精度を示す。さらに、温度センサを内蔵しており、センサ周囲温度の変化に対する気圧変動影響を補正する。また、シリアル通信に対応。

モバイル機器など小型機器への搭載が容易なので、スマートフォンのほか、歩数測定や生活活動での活動量を測定する活動量計など、電池駆動のアプリケーションに適している。０・５～９・５ｕＡの低消費電流で、電池の長寿命化にも貢献する。

活動量計に搭載した場合、これまで困難であった階段の上り下りなど高低差のある運動の計測が可能となる。また、カーナビゲーションシステムに搭載した場合、立体駐車場でのナビゲーション精度の確保や、高架道路と一般道との区別を可能にする。

そのほか、開くはずのない扉が開いたり、窓が割られたりした場合の気圧変動がセンシングでき、セキュリティ用途としても活用できる。

ほかのセンサと同じ基板に実装するといったニーズにも対応できるよう、ＣＭＯＳ／ＭＥＭＳを一体化したウエハの販売も可能である。