安川電機は、リニアサーボドライブ『Linear∑(ライナーシグマ)シリーズ』に、推力密度業界トップクラスとなる新形コア付きF形リニアサーボモータ「SGLFW2シリーズ」を新たに開発、2013年度から順次発売していく。価格はオープンで、13年度月産300台、15年度同1200台を計画。
SGLFW2シリーズは、最大推力を現行比40%向上して、高加速・高タクト化を実現するとともに、モータ体積を20%低減して小型化を図り、装置の省スペース化に対応した。
機種も、最大推力が135~7560Nと従来比3倍に拡大しており、複数の可動子を連結することで1万N以上にも対応が可能となっている。
そのほか、空冷、水冷でも使用できる、サーモスタットを標準搭載することで、安全性も向上、エネルギー損失を従来比最大35%低減した省エネ設計を実現、などの特徴を有している。
主な用途は、半導体後工程装置のボンダ、検査機や、液晶・有機EL製造装置の露光、ディスペンサ、電子部品製造装置のマウンタなどといった、高速、高精度位置決めに最適。
同社は99年『Linear∑シリーズ』を製品化してリニアサーボドライブの普及に取り組んできた。
今回、リニアサーボの市場ニーズに応えて、SGLFW2シリーズでさらなる小型化・高推力化を図った。