経済産業省は、熱陰極電離真空計について仕様の表記法のＪＩＳＺ８１２９を制定した。トレーサビリティを考慮した測定を行うために、メーカーが表記すべき仕様の項目および表記法、不確かさ要因を明らかにするためである。
熱陰極電離真空計は、１Ｐａ以下の圧力領域を測定する機器として半導体製造装置、ディスプレイ製造装置、真空溶解炉、分析装置など真空を利用する機器に採用されている。
熱陰極電離真空計ＪＩＳ化 仕様表記を統一
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