１００分の１ミリオーダーの高精度検出を実現、パナソニックデバイスＳＵＮＸが、マイクロレーザ測距センサを発売

パナソニックデバイスＳＵＮＸは、高精度の距離判別アプリケーションに適したＣＭＯＳタイプマイクロレーザ測距センサ「ＨＧ―Ｃシリーズ」を発売した。基板周辺装置、自動組立装置、各種組立工程・検査工程などで使用できる。

これらは、変位センサにも用いられる高精度ＣＭＯＳイメージセンサと、変位センサで培った同社独自のアルゴリズムにより、従来の距離設定反射型センサにない１００分の１ミリオーダーの高精度測定を実現している。

一般的に、受光部とＣＭＯＳとの光路長を長くすることで、より高精度で安定した測定値を取得できるが、その一方でセンサの奥行き方向が長くなり、ボディの形状が大きくなっていた。今回のシリーズでは、内部にミラーを設置した新しい光学系を設計し、奥行き方向の短寸化と変位センサ並みの高精度測定を両立した。外形寸法は、幅２０×高さ４４×奥行き２５ミリの業界最小クラスで、各種アームやヘッド部に取り付けられる。

また、ミリ単位での数値表示だけでなく、０―５Ｖのアナログ電圧出力を取り出し可能で、ＰＬＣとアナログユニットに取り込めば、各種演算や測定値の蓄積（ロギング）も行える。

直線性は＋－０・１％Ｆ．Ｓ．で、測定中心距離が３０―１００ミリ、測定範囲が５―３５ミリ、繰り返し精度が＋－１０―７０ミクロンの各タイプがある。

標準価格は２万９８００円で高価な変位センサに匹敵する性能で、低価格を実現。