SEAJ(日本半導体製造装置協会)が発表した2014年の世界半導体製造装置販売額は、前年比18%増の375億ドルだった。地域別では、台湾を除く全ての地域で前年比プラス成長となった。台湾は前年比11%減の94億1000万ドルだったが、北米の81億6000万ドル(前年比55%増)を抑え1位を堅持した。韓国は前年比31%増の68億4000万ドルで北米に次ぐ3位。中国は前年比30%増の43億7000万ドルで、僅差であった日本を抜いて4位になった。なお、日本市場はドルベースで前年比24%増だが、円に換算すると35%増となる。
この統計は、米SEMI(半導体製造装置材料協会)とSEAJが共同で、世界100社以上の半導体製造装置メーカーから毎月提供されるデータを集計したもので、ウエハープロセス要処理装置、組立およびパッケージング装置、テスト装置、その他前工程装置(マスク/レクチル装置、ウエハー製造装置、半導体製造装置用関連装置)が含まれる。