アルバックは、次世代ＭＥＭＳデバイスで主流となるＣＭＯＳ搭載ＭＥＭＳデバイス向け量産用低温ＰＺＴスパッタリング技術を開発した。
近年、加速度センサやジャイロセンサ、圧力センサの機能の根幹となる圧電材料としてＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）の薄膜を使った圧電ＭＥＭＳデバイスの需要が拡大中。ＣＭＯＳと融合させることで高性能化、多機能化、小型化ができ、応用範囲が急速に広がっている。
同社は、ＣＭＯＳに搭載可能な圧電ＭＥＭＳデバイス用ＰＺＴ薄膜を５００℃以下のスパッタリングプロセスでの形成に成功。最高レベルの圧電性能と素子の信頼性に必要な高絶縁耐圧、耐疲労性能を満たす技術を開発した。一般的にＰＺＴ薄膜の結晶化温度はスパッタリング法で６００℃程度、Ｓｏｌ―Ｇｅｌ法で７００℃と高温プロセスが必要で、５００℃以下の低温プロセスが必要なＣＭＯＳへの搭載が困難だった。
オートメーション新聞は、1976年の発行開始以来、45年超にわたって製造業界で働く人々を応援してきたものづくり業界専門メディアです。工場や製造現場、生産設備におけるFAや自動化、ロボットや制御技術・製品のトピックスを中心に、IoTやスマートファクトリー、製造業DX等に関する情報を発信しています。新聞とPDF電子版は月3回の発行、WEBとTwitterは随時更新しています。
購読料は、法人企業向けは年間3万円（税抜）、個人向けは年間6000円（税抜）。個人プランの場合、月額500円で定期的に業界の情報を手に入れることができます。ぜひご検討ください。
オートメーション新聞は、45年以上の歴史を持つ製造業・ものづくり業界の専門メディアです。製造業DXやデジタル化、FA・自動化、スマートファクトリーに向けた動きなど、製造業各社と市場の動きをお伝えします。年間購読は、個人向けプラン6600円、法人向けプラン3万3000円
