安川電機は、GaN（窒化ガリウム）パワー半導体を搭載したアンプ内蔵サーボモータを世界で初めて開発。2017年までの製品化を目指す。
サーボドライブシステムのサーボパックの機能とサーボモータを一体化。低損失動作のGaNパワー半導体と、振動に強い受動部品、3次元の高密度部品実装によりアンプ部筐体を小型化。従来のサーボパックのアンプ部に比べて体積比で4分の1。また自然空冷をベースとした冷却技術で、小型と高効率を両立している。この結果、サーボドライブシステムの損失を12％低減。可聴周波数域を超えた高周波駆動による静音化や、回生エネルギーを他のモータでドライブエネルギーとして使えるなど省エネにも貢献する。
入力電圧は280Vdc、定格出力は100W、定格トルクは0.318N・m、定格回転速度3000min-1。サイズは130ミリ×40ミリ×40ミリ。
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