オムロン　同軸変位センサ「ZW-7000シリーズ」移動中に高精度測定　異部品混在にも対応

オムロンは変位センサの新シリーズとしてファイバー同軸変位センサ「ZW-7000シリーズ」を4月1日に発売した。同製品は、新たな測定原理「白色共焦点方式」搭載で、材質（鏡面、粗面、透明など）や形状（曲面、狭小スペースなど）の異なる部品が混在しても、センサヘッドを連続して高精度に高さが測定できる。

位置同期機能（EtherCAT同期、外部トリガ同期）を搭載し、移動と測定タイミングを正しく同期でき、移動しながら狙った箇所を高精度に測定ができる。ヘッド部は従来比約3分の1の小型サイズで、スペースの制約がある場所でも複数のセンサヘッドを設置でき、同時測定により検査時間を短縮可能。設置方向に制約がなく、あらゆる方向へ移動しながら測定が可能で、従来必要であった測定対象物の形状や移動方向に合わせてセンサヘッドを回転させる作業が不要。独自の検出原理により、一つのセンサヘッドで異なる材質・形状の部品を高精度に測定でき、従来のように測定対象物に合わせたセンサヘッドの交換も不要になる。主な仕様は、測定範囲が30プラスマイナス2ミリと最も広い「形ZW-S7030」で、静止分解能0.016マイクロメートル、リニアリティプラスマイナス2.0マイクロメートル、サンプリング周期最速20マイクロ秒。