横河電機/横河ソリューションサービスは、今年4月、横河ミニマルアプリケーションラボを開設し、半導体製造への取り組みを強めている。
SEMICON Japanでは、半導体製造に関連した同社の最新装置・ソリューションを展示する。
レンジフリーコントローラ「FA-M3V」、組み込みコントローラ「e-RT3」は半導体製造用途でも実績が高い。
「e-RT3」は、ボードとPLCの強みを融合した次世代コントローラ。
堅牢性・リアルタイム性・安定性を特徴に組み込みデータベース機能を搭載できるため、組み込みコントローラとしてだけでなく、従来パソコンが担っていた製造工程管理用コントローラとしても使え、安定動作と高信頼性を確保した製造工程管理が可能になる。
また、最新モデルとして販売しているリアルタイムコントローラ「e-RT3 Plus」は、Linux OSを搭載しており、「Accessible」「Visible」「Applicable」の3つの視点でユーザビリティを強化し、工場から社会インフラシステムまで幅広いアプリケーション領域で誰でもLinux開発ができる。
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