横河電機 赤外線式オンライン厚さ計開発、薄膜を高精度に測定

横河電機は、「OpreX Quality Control System」のラインアップとして、フィルムやシートなどの厚さを測定し、厚さが均一になるよう制御するオンライン厚さ計WEBFREX NV用の赤外線式センサ「WG51S2」を開発、9月3日より販売開始する。

オンライン厚さ計WEBFREX NVは、β線式、X線式、赤外線式、光学式と4種類の非接触式センサをラインアップし、多様なフィルムやシートの測定に対応している。新製品は、プラスチックフィルム業界の薄膜化のニーズに対応するため、薄いフィルムも高精度で測定できる新しい赤外線式センサ。

周波数変調光源とデュアル積分球からなる独自の光学系とデジタルロックインアンプ回路による微小信号検出技術を組み合わせ、精度と信頼性が格段に向上。薄膜（10～300マイクロメートル）の測定に強みを発揮し、プラスマイナス0・2マイクロメートル以内という高精度な測定ができる。ポリプロピレンの20マイクロメートル厚さの薄膜では、最高精度プラスマイナス0・1マイクロメートル以内を実現。

透明・不透明・発砲フィルムなど幅広いアプリケーションに対応し、フィルムのパスライン変動や外乱赤外線による影響を受けにくく、かつ高速移動するフィルム上でも高信頼な測定を可能としている。

また、周波数変調光源の採用により有寿命の機構部品がなくなり、唯一の保守部品である光源は、ワンタッチ交換ができる上に交換後の調整が不要となっている。