オムロンは、ナノメートル単位でモーション制御を実現するプログラマブル多軸モーションコントローラー「CK3Mシリーズ」を8月からグローバルで販売開始した。
新製品は、半導体製造装置などで広く採用実績のあるデルタタウデータシステムズ社が開発した「PMAC」が持つ世界最高レベルのモーション制御能力と、オムロンの放熱性、耐ノイズ性などの高い設計技術を融合させた、コンパクトなサイズの汎用モーションコントローラーとなっている。
近年、半導体デバイスの微細化や構造の三次元化が進むにあたり、製造装置にはスケールやモーターなどさまざまな周辺機器を最適に同期させた、高精度な位置決めや軌跡制御が求められている。
CK3Mシリーズは汎用コントローラーでありながら、スケールメーカー各社の通信規格や、EtherCAT通信に対応し、多様なモーターや高精度なスケールなどの周辺機器と接続することができ、1つのコントローラーで高速な同期制御を実現する。サーボサイクル50マイクロ秒/5軸といった世界最高レベルのモーション制御性能を保有し、高速なフィードバック制御を行うことで、精密加工における高精度な軌跡制御も行える。
また、モーション制御を簡単にプログラムできるPMAC専用言語に加えC言語にも対応している。