キヤノンマーケティングジャパンは、米シグレイ社製のマイクロX線CT顕微鏡「Apex XCT」を発売した。
近年、半導体需要の急増にともなって故障解析や研究開発における非破壊分析のニーズが高まっているが、半導体部品は、X線吸収率が大きく異なる金属材料と樹脂材料が積層構造となっており、非破壊での故障解析や品質管理が困難だった。
これに対し同製品は、独自の装置機構でサブミクロン空間分解能でも最大直径300ミリメートルサイズまでのサンプルを切り出すことなく、約15分間で測定可能。大きな平板状のサンプルの内部構造について可視化を容易にする。価格は2億円。
https://canon.jp/corporate/newsrelease/2022/2022-01/pr-apex-xct
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