シンフォニアテクノロジーは、爆発的な半導体需要の増加に伴い、豊橋製作所（愛知県豊橋市）のクリーン搬送機器工場を再増築するほか、シンフォニアテクノロジー（タイ）に新工場を建設、伊勢製作所（三重県伊勢市）ではクリーンルームを増設するなど、３拠点で生産能力の増強を図る。
半導体製造装置生産のメイン工場である豊橋製作所内のクリーン搬送機器第一工場は、2007年8月に建設された後、2020年3月に工場床面積を約1.5倍に増築、さらに今回、２階建ての新工場棟を増築し、工場床面積は2万3379平方メートルとなる。本格稼働は2023年7月を予定している
また、21年にはロードポートの組み立てを始めた伊勢製作所（三重県伊勢市）にもクリーンルームを増設し、タイの現地法人であるシンフォニアテクノロジー（タイ）では第３工場を建設、2023年4月以降、新しい設備を順次稼働する予定。
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