芝浦エレテックは、 生産設備のリアルタイムの状況を把握できる「モニタリングサービスツール（キノシステム）」を出展。「その場で改善ポイントがみつかる」「取付簡単で効果を実感できる」「フレキシブルなカスタマイズ」が特長で、故障の予知、メンテサイクルの最適化で生産設備の稼働と生産性が向上できる。
また従来のMFCの機能・性能を大幅に改善・向上させた「ガスフローコントローラ」を出展する。キャリブレーション不要・0点ズレの解消・外圧力変動影響小で、極小流量制御が可能。リアルタイムモニタリング機能で内部情報のリアルタイムモニタリング、情報アウトプット、常時リークチェック、自己診断機能も可能。
https://www.shibaura.co.jp/eletec/pdf/SEMICON_Japan_2022.pdf
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