堀場製作所（HORIBA）は、ブースでは各工程におけるユーザーの要望・課題、例えば流体制御での「ガス流量制御による装置間のばらつきを削減し、歩留まりを向上させたい」、薬液濃度モニタリングにおける「薬液に接液することなく、非接触で安全にコンタミのリスクなく薬液濃度の測定を行いたい」、フォトマスク異物検査における「レティクル/ブランクス/ペリクルに付着した異物を迅速に測定＆除去したい」、膜厚・異物評価での「金属薄膜の膜厚やICパッケージ内の不良原因を評価したい」、チャンバー状態監視での「プロセス結果に影響のある残留ガスを確認し、歩留まり・稼働率を向上させたい」、エンドポイント検出での「プラズマプロセスのエンドポイントやプラズマの分布制御により、生産性を向上させたい」における解決策を提案する。
https://www.horiba.com/jpn/company/events/horiba-showcase/semicon-japan-2022/
オートメーション新聞は、1976年の発行開始以来、45年超にわたって製造業界で働く人々を応援してきたものづくり業界専門メディアです。工場や製造現場、生産設備におけるFAや自動化、ロボットや制御技術・製品のトピックスを中心に、IoTやスマートファクトリー、製造業DX等に関する情報を発信しています。新聞とPDF電子版は月3回の発行、WEBとTwitterは随時更新しています。
購読料は、法人企業向けは年間3万円（税抜）、個人向けは年間6000円（税抜）。個人プランの場合、月額500円で定期的に業界の情報を手に入れることができます。ぜひご検討ください。
オートメーション新聞は、45年以上の歴史を持つ製造業・ものづくり業界の専門メディアです。製造業DXやデジタル化、FA・自動化、スマートファクトリーに向けた動きなど、製造業各社と市場の動きをお伝えします。年間購読は、個人向けプラン6600円、法人向けプラン3万3000円
