村田製作所は、産業機器向けに高精度なデジタルMEMSジャイロ・加速度コンボセンサ「SCC400Tシリーズ」の量産を開始した。
産業用機器の無人化・自動化の加速にともなって物体の位置や傾斜変化などのデータを正確に取得するニーズが高まっている。また産業用機器の高機能化によって搭載するモジュールも増えていることから、センサ自体の小型化も求められている。
それに対し同製品は、ジャイロセンサと加速度センサをMEMS技術で小型パッケージ化し、単一パッケージで最大5DoFの高性能ジャイロセンサと加速度センサの組み合わせを利用可能。新アーキテクチャで低ノイズを実現し、優れたリニアリティ特性と使用温度範囲でのオフセット安定性を実現している。また5DoFのジャイロ加速度センサと1DoFのジャイロセンサのラインアップで、組み合わせて6DoFソリューション対応も可能。
ジャイロセンサの測定範囲はX/Z軸ともに±300°/s、加速度計は1次出力±6gに加え、2次出力±8gの測定が可能。
主な用途は、慣性計測ユニット（IMUs）やロボティクス、機械制御システム、プラットフォームの制御と安定化、モーション解析、高精度ポジショニング（GNSS）など。
https://www.murata.com/ja-jp/news/sensor/gyro/2022/1130
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