三井金属は、機能性粉体事業部が三池機能性粉体工場（福岡県大牟田市）で生産しているSiCウェハ用研磨材「NANOBIX」の生産能力を増強し、2023年度中に50トン/年以上まで引き上げる。
パワーデバイス用材料として使用されているSiCウェハは非常に硬く、表面を原子レベルまで平滑にするには優れた研磨技術と長時間の研磨が必要とされ、SiCウェハ用研磨材「NANOBIX」はSiCウェハ表面の結晶へのダメージなく、短時間で極めて平滑に加工できる研磨材料として使用されている。
三井金属、福岡県大牟田市の三池工場のSiCウェハ用研磨材の生産能力を増強
- 2023年2月17日
- 工場・設備投資
- 2023年2月15日号, NANOBIX, SiCウェハ用研磨材, 三井金属, 三池機能性粉体
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