日本電熱、長野県安曇野市の半導体製造装置向け熱制御機器製造の新棟が稼働開始

エア・ウォーターのグループ会社で各種電熱機器の製造・販売を行う日本電熱は、国内大手半導体製造装置メーカー向け熱制御機器の製造に特化した新棟を安曇野本社工場内(長野県安曇野市三郷温3788-1)に建設、稼働を開始した。
同社は、工業用の電熱制御機器で国内トップシェアを持ち、ウェハーを均一に加熱する熱板(ホットプレート)や冷却用のクーリングプレートなど、半導体の製造工程で不可欠な熱制御機器を大手半導体製造装置メーカーに供給している。新棟の稼働開始により、半導体製造装置に組み込まれる熱制御機器の生産能力は現行比1.5倍に拡大する見通し。
新棟の延床面積は6260平方メートル。建築面積3700平方メートル。鉄骨造2階建。投資額は約35億円。

https://www.awi.co.jp/ja/business/news/news-29710187261195384239.html

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