アズビルは、azbilグループの研究開発、製品開発などを紹介した「azbilグループ 技術研究報告書 テクニカルレビュー」の最新号となる2023年4月号を発行した。
最新号は「高性能センシングデバイスを実現するアズビルのMEMS技術─高機能・高精度・高信頼性の追求」を特集テーマとし、MEMS開発の歩みと展望、開発の事例、実装のための生産技術、研究開発環境等の論文を掲載している。巻頭言では、東北大学シニアリサーチフェロー （マイクロシステム融合研究開発センター）兼株式会社メムス・コアのCTO江刺正喜氏による「センサなどの製作に用いられる半導体微細加工技術:MEMS」、同社アドバイザーの西本淳哉氏による「特集に寄せて」を掲載。本編では、特集論文7編、一般論文4編、製品に関する論文1編の12本の技術論文を掲載している。
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