ハイウィン、12インチウエハ対応の超薄型大中空径DDモータ「DMTK3」発売

ハイウィンは、超薄型で大中空径のダイレクトドライブモータ「DMT」シリーズについて、中空径340mm、薄さ30mmの「DMTK3」を発売した。
同シリーズは、超薄型で低重心、大中空径が特長のダイレクトドライブモーター（DD）で、高精度を要求される半導体製造工程やAOI検査装置への使用に適している。これまではDD方式以外の機構や円弧状機構の一部を使って大きな中空ステージを製作していたが、粉塵の影響や重量、大きさ、精度、構造などの欠点があったのに対し、同製品は中空径が340ｍｍに広げたことで12インチウエハを中空径に通すことができ、自由度の高い装置設計を可能とする。ギアなし、ゼロバックラッシュで、高分解能で優れた位置決めが可能。独自の時期回路設計によって高トルクでの運転が可能。
超薄型で、中空径にケーブルやエア配管を通すことができ、ステージ設計や組立工数を圧縮可能。リニアモーターと組み合わせることで容易に全高250mm程度の高精度XYΘステージを組むなども可能となる。