三菱ガス化学は、半導体の製造工程で使用される超純過酸化水素（超純過水）、超純アンモニア水（超純安水）の製造・販売を行う米国の子会社、MGC Pure Chemicals America, Inc.のテキサス工場を増設する。
超純過水・超純安水は、主に半導体のウエハーやデバイスの製造工程で、洗浄剤・エッチング剤・研磨剤として使用されるが、半導体の微細化に伴い、より高品質な薬液要求が高まり、5G、IoT、クラウド、AI、車載等での用途拡大により、半導体市場は長期にわたり世界的に成長していくと予想されている。
テキサス工場では、2025年6月に生産開始予定で、超純過酸化水の年間生産能力は3万5000トン、超純アンモニア水は5000トンとなる。オレゴン工場は2024年9月に生産開始予定で、超純過酸化水の年間生産能力は3万5000トンとなる。
三菱ガス化学、北米に超純過酸化水素・超純アンモニア水製造工場増設。半導体市場の需要に対応
- 2024年6月22日
- 工場・設備投資
- 2024年6月19日号, 三菱ガス化学
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