住友金属鉱山と100%子会社のサイコックスは、サイコックス大口工場(鹿児島県伊佐市)に貼り合せSiC(シリコンカーバイド)基板「SiCkrest」の8インチ(200mm)量産ラインを構築する。
SiCkrest は、独自の接合技術によりウエハーを2層化することで、性能と低コストを両立させた製品。低抵抗の多結晶SiC支持基板の上に高品質な単結晶層を薄く貼り合わせ、単結晶の特性を維持しつつ、基板全体における低抵抗化と通電劣化抑制効果を実現している。
今回の8インチ基板の量産ライン構築により2025年度下期には貼り合せSiC基板の月産能力は1万枚(6インチ換算)を超え、ライセンス供与先への多結晶SiC支持基板の供給も開始する予定。
https://www.smm.co.jp/news/release/uploaded_files/20240927_JP.pdf