THKは、半導体製造装置の縦型炉向けの地震対策となる新型の免震台「縦型炉用新型免震台｣を発売した。
これまでの半導体製造装置の縦型炉向け免震台は、大地震が発生した際に縦型炉本体の損傷を防いで機能を維持することを目的としており、発生頻度が高い中小地震では炉内にあるウェハーに欠陥が生じることがあり、その対策が求められていた。
それに対し同製品は、震度3~5弱の中小地震では縦型炉内にあるウェハーの欠陥を低減、震度5強以上の大地震では縦型炉本体と石英パーツを保全することで幅広い地震動に対応が可能な免震台。二段階可動方式を用いた新機構を採用し、従来型免震台よりも低い加速度で起動し、特定の可動域を超えると免震性能が切り替わる二段階の特性によって揺れの大きさに応じた個別の免震性能を発揮する。荷重を支える支承ユニットを複数配置し、各支承ユニットは鋼製フレームとプレートで連結する構造のため、搭載する縦型炉の形状や仕様に合わせてカスタマイズが可能。支承ユニットは、減衰・復元機構、免震性能切替機構の有無で3種類をラインナップし、各支承ユニットの組合せにより、最適な性能を発揮する免震台を構成することが可能となっている。
https://www.thk.com/jp/ja/news/products/article-30102024-1.html
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