堀場アドバンスドテクノは、半導体製造プロセス等で使われる薬液の濃度をリアルタイム測定する薬液モニタリングシステム「CS-1000」を発売した。
同製品は、吸光度と導電率、pHのデータを複合的に分析する独自アルゴリズムによって、薬液の分離や試薬の添加といった前処理がいらず、多成分薬液中のppmレベルの微量成分を検出し、濃度（最大8成分）、導電率、pHなど薬液管理における主要3項目を最短6秒の更新周期で同時測定し、微量成分を含む多成分薬液の連続モニタリングが可能。
またメンテナンスは半年に1度、4時間程度ででき、pHを除く測定には試薬を必要とせず、ダウンタイムやランニングコストの低減が可能。完全分離型の薬液２流路設計によって異なる2種の薬液の同時測定にも対応し、生産性も向上できる。
筐体は、独立したキャビネットに集約されたオールインワンシステムなので現場に設置するだけで使用可能。タッチパネル採用によって簡便な現場操作を実現している。
https://www.horiba.com/jpn/company/news/detail/news/11/2024/20241119-cs-1000
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