堀場エステックは、超薄型マスフローコントローラー「DZ-100」シリーズの最新機種となる「DZ-107」を発売した。
同製品は、わずか10mm幅の薄さを維持しながら、新開発の制御バルブを採用してフルスケール流量を従来モデルの約7倍に向上し、クラス最大水準となる20SLMの大流量化を実現。使用温度範囲の上限を従来機の45℃から60℃へと引き上げ、対応可能なガス種も拡大し、これによりエッチングだけでなくCVDやALDといった大流量のガス制御を必要とする成膜プロセスにも幅広く対応が可能。使用温度範囲の上限を従来機の45℃から60℃へと引き上げ、対応可能なガス種が広がり、エッチング・成膜プロセスの高度化にも貢献していきます。
EtherCAT通信に対応し、内部メモリにガスデータを格納できるようにしたことで装置からガスの仕様変更を直接行うことが可能となり、使い勝手を向上。顧客様の希望に応じた最適な運用方法を選択できるようにした。
https://www.horiba.com/jpn/company/news/detail/news/1/2025/20241126dz
オートメーション新聞は、1976年の発行開始以来、45年超にわたって製造業界で働く人々を応援してきたものづくり業界専門メディアです。工場や製造現場、生産設備におけるFAや自動化、ロボットや制御技術・製品のトピックスを中心に、IoTやスマートファクトリー、製造業DX等に関する情報を発信しています。新聞とPDF電子版は月3回の発行、WEBとTwitterは随時更新しています。
