三菱ケミカルグループの新菱は、半導体精密洗浄事業の強化に向け、福島県郡山市へ福島工場を新設、岩手県一関市の岩手工場を増強し、半導体製造装置などのパーツ洗浄の能力を拡大する。いずれも2026年10月の稼働を予定している。
半導体精密洗浄事業では、半導体製造装置メーカーや半導体デバイスメーカー向けにパーツ洗浄サービスを提供している。同社グループの精密洗浄技術は、パーティクル（塵、埃）や金属不純物などナノ単位の汚れをきめ細かく除去し、必要に応じてパーツの表面を改質することで、半導体製造の歩留りを向上させ、廃棄パーツの削減および環境負荷低減。使用済みパーツに加え新品パーツも洗浄することで半導体製造装置の初期稼働不良を低減する。
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