荏原製作所、熊本県玉名郡の熊本工場に半導体製造装置の新生産棟(K3棟)が竣工

荏原製作所は、熊本事業所内の熊本工場で建設を進めていた新生産棟(K3棟)が竣工した。同生産棟は、精密・電子カンパニーの主力製品であるCMP装置をはじめとした半導体製造装置の製造を目的とし、今後2025年度第2四半期から稼働を開始する予定。
同社は、自社が得意とする流体技術や回転機械技術を応用し、1980年代より半導体関連分野に参入。熊本事業所は、2001年に熊本工場(K1棟)の操業を開始し、CMP装置をはじめとした同社の半導体製造装置の量産に特化した生産拠点となっている。また、2016年には工場の増設を行い、K2棟の稼働を開始している。
建築面積は、約7700平方メートル。延床面積は、約1万9400平方メートル。地上4階建。2025年度第2四半期稼働開始予定。

https://www.ebara.co.jp/corporate/newsroom/release/company/detail/1222355_1673.html

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