三菱ケミカル、福岡県北九州市の九州事業所で半導体向け合成石英粉の生産能力増強

三菱ケミカルグループは、半導体製造工程で使用される合成石英粉「三菱合成石英」について、九州事業所・福岡地区(福岡県北九州市)の生産能力を増強する。2028年9月に稼働を開始し、生産能力は現状から35%増加する見通し。
同製品は、超高純度を特長とする合成石英粉で、半導体用シリコンの製造に使用する「石英るつぼ」や半導体製造装置内の高純度石英パーツの原料として使用されている。特にインゴットの製造工程では、ウエハ品質を大きく劣化させる不純物の混入を抑制するため、石英るつぼの表面は非常に高い純度が求められる。同製品は長年培った製造技術によって砂状シリカとして世界最高レベルの純度を実現している。

https://www.mcgc.com/news_release/02152.html

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