荏原製作所は、福島県伊達市にドライ真空ポンプのオーバーホール工場「荏原フィールドテック東北工場」を竣工した。これにより同社の国内のドライ真空ポンプのオーバーホール工場は5カ所体制となる。2025年4月より稼働予定。
半導体ウェーハの加工工程では、不純物を混入させないためにチャンバーから真空ポンプで空気を抜き、できるだけ真空度を高める。ドライ真空ポンプは、接ガス部にオイルを用いない構造のため、水や油の逆流や拡散による汚染の心配がなく、クリーンな真空を得ることができる。同工場では顧客の工場から返ってきたドライ真空ポンプの状態を確認し、分解・洗浄・修正や部品交換・組み立て・試験等を行い、新品と同様の性能にし、再度お客さまの工場へ納入する役割を果たす。
新工場は、敷地面積は約1万0000平方メートル、地上1階建てで建築面積は約3000平方メートル。
https://www.ebara.co.jp/corporate/newsroom/release/company/detail/1223410_1673.html
オートメーション新聞は、1976年の発行開始以来、45年超にわたって製造業界で働く人々を応援してきたものづくり業界専門メディアです。工場や製造現場、生産設備におけるFAや自動化、ロボットや制御技術・製品のトピックスを中心に、IoTやスマートファクトリー、製造業DX等に関する情報を発信しています。新聞とPDF電子版は月3回の発行、WEBとTwitterは随時更新しています。
購読料は、法人企業向けは年間3万円（税抜）、個人向けは年間6000円（税抜）。個人プランの場合、月額500円で定期的に業界の情報を手に入れることができます。ぜひご検討ください。
オートメーション新聞は、45年以上の歴史を持つ製造業・ものづくり業界の専門メディアです。製造業DXやデジタル化、FA・自動化、スマートファクトリーに向けた動きなど、製造業各社と市場の動きをお伝えします。年間購読は、個人向けプラン6600円、法人向けプラン3万3000円となっています。
