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サファイア隔膜真空計

アズビル、JCSS校正事業者の新たな認定取得と認定範囲を拡大

JCSS（Japan Calibration Service System、計量法に基づく校正事業者登録制度）の校正事業者として登録されているアズビル技術標準部計測標準グループは、流量・流速（微小用流量計）に加え、流量・流速（気体用流量計）で新たに登 […]

アズビルの「サファイア隔膜真空計形V8C」が、2023年度グッドデザイン賞を受賞した。サファイア隔膜真空計は、サファイア静電容量式圧力センサを使用した真空度を計測する機器で、半導体製造工程の成膜・エッチング装置に設置される真空計は筐体サイズの小型化 […]

オートメーション新聞の2023年10月18日号を発行しました。ぜひご覧ください主な掲載記事

アズビルは、MEMS加工技術でデポ対策を強化したサファイア隔膜真空計「形V8」を発売した。半導体製造工程で使われるプロセスガスは、種類によっては真空計のセンサダイヤフラム上に膜が形成される「デポ」と呼ばれる現象が発生することがあり、ゼロ点がシフトする […]

オートメーション新聞2023年2月15日では、原材料と製品価格の値上げが行われるなか、製造業をはじめとする多くの中小企業は大手企業に対して価格交渉を行えたのか、価格転嫁ができたのかという実態調査の結果をお伝えしています。全体では6割が価格交渉には応じ […]

アズビルは、JCSS（校正事業者登録制度）に登録されている同社の技術標準部計測標準グループが、圧力（真空計）、流量・流速（微小用流量計）、時間・周波数および回転速度（周波数標準器、周波数発生器、周波数測定器）の3種類について、新たに登録・認定された。 […]

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