- 2020年6月17日
安川電機 新型半導体ウエハ搬送用ロボ、高精度・低振動を実現
ダイレクトドライブモータ採用 安川電機は、半導体ウエハ搬送用クリーンロボットの新たなラインアップとして、ダイレクトドライブモータを採用した「SEMISTAR-GEKKO MD124D」と、クリーンロボット用標準コントローラ「SR200」を販売開始した […]
ダイレクトドライブモータ採用 安川電機は、半導体ウエハ搬送用クリーンロボットの新たなラインアップとして、ダイレクトドライブモータを採用した「SEMISTAR-GEKKO MD124D」と、クリーンロボット用標準コントローラ「SR200」を販売開始した […]