- 2021年11月17日
荏原製作所、半導体製造プロセス向け精密チラーを来年1月発売
荏原製作所は、半導体製造プロセスのサブファブスペースを効率的に利用できる小型高出力チラー「 RJ-SA型」を開発し、2022年1月の発売を目指す。 小型で冷却能力4.0kWの高出力でサブファブスペースの効率利用をサポート。低GWP冷媒(GWP:138 […]
荏原製作所は、半導体製造プロセスのサブファブスペースを効率的に利用できる小型高出力チラー「 RJ-SA型」を開発し、2022年1月の発売を目指す。 小型で冷却能力4.0kWの高出力でサブファブスペースの効率利用をサポート。低GWP冷媒(GWP:138 […]